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热搜关(guān)键词: 制氩气设备 氮气回收利(lì)用装置(zhì) 氦(hài)气回收装置 氙气回收设备
本装(zhuāng)置净化器采用特殊(shū)结构,具有接触面积大、阻力小、净化(huà)效率高(gāo)、热功率损耗小等优点。本装置吸附(fù)干燥器对氩气进行(háng)深度脱水,可与区熔硅晶炉配套使用(yòng)可用于激光器、溅射、半(bàn)导体生产,气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩(yà)气的生产技术领域。
本装置不(bú)用(yòng)氩气再生活化,避免了用氩气的安全问题,所以在使用时(shí)是比较方便的,又能获得较高的氩气纯度。
处理气(qì)量:≥按客户要求 | |
原(yuán)料气纯度:≥99.99% | |
纯化后纯度:也可按照国标GB/T4842-2006 | |
O2≤1ppm | O2≤1.5ppm |
N2≤0.5ppm | N2≤4ppm |
CO2+CO≤0.2ppm | |
H2≤0.1ppm | H2≤0.5ppm |
ΣCH≤0.1ppm | ΣCH≤1ppm |
露点≤-76℃ | H2O≤3ppm |
我们为您提供成套的氩气回收、纯(chún)化方案,将纯度≥99.99%的氩气(qì)先经过干燥器脱水,然后进(jìn)入(rù)净化器纯化,净化器内装有吸气剂,在高温下吸气(qì)剂吸收氩气中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等形成问顿(dùn)感的化合物货(huò)固溶体,从而达到对氩气精制的目的(de),节(jiē)省成本,提高效(xiào)率。
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